▶︎ 特長
高純度・低コンタミネーション
クリーンルームや精密環境向けに設計されたコーティング
耐薬品性・耐熱性
過酷な薬品や高温環境に耐える優れた性能
難付着性（非粘着性）
付着や汚れの蓄積を低減しプロセス効率を向上
精密コーティング技術
重要な用途に対して安定した高品質を提供
▶︎ 半導体製造装置向けフッ素樹脂コーティングとは
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半導体製造装置向けフッ素樹脂コーティングは、半導体製造に使用される装置や部品の表面に施される特殊な表面処理です。 これらのコーティングは、コンタミネーション（汚染）の低減、過酷な環境への耐性向上、部品寿命の延長により、製造安定性を向上させます。 |
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| コンタミネーションの低減 | 耐薬品性の向上 | 材料の付着を防止 | 部品寿命の延長 | |
▶︎ フロロコートが課題を解決します
課題：微粒子コンタミネーション
微細な粒子でも、歩留まりや製品品質に大きな影響を与えます。
解決：高純度（低溶出）コーティング
コンタミネーションリスクを最小限に抑え、クリーンな製造環境を維持します。
課題：薬品への曝露
腐食性の高い薬品が材料を劣化させ、性能を低下させます。
解決：耐薬品性コーティング
過酷な薬品から表面を保護し、腐食や劣化を防ぎ、装置寿命を延ばします。
課題：付着・残渣の蓄積
残渣の蓄積が、精密プロセスの妨げになります。
解決：難付着性コーティング
材料の付着を低減し、清掃性を向上させ、安定した性能を維持します。
課題：装置の摩耗・ダウンタイム
頻繁なメンテナンスが、コスト増加や生産効率の低下を招きます。
解決：耐摩耗性コーティング
部品の耐久性を向上させ、メンテナンス頻度を低減し、長期的な信頼性を高めます。
▶︎ 半導体・電子部品における用途
精密加工部品
搬送・ハンドリング
システム
薬液処理装置
高接触部・
高負荷表面
高摩擦部品
▶︎ コーティング技術
アドロン®コーティング
耐薬品性、難付着性、防汚性、高純度対応、低摩擦性能などの特長を持つフッ素樹脂コーティングです。
用途例：精密部品、精密ハンドリングシステム
トシカルS®コーティング
優れた非粘着性能、高い表面耐久性、材料付着の低減、最適化された表面処理を特長とするコーティングです。
用途例：粘着性の高い材料環境、高接触プロセス表面
▶︎ フロロコートが選ばれる理由
豊富な実績と専門性
先進的なコーティング技術に関する豊富な経験
高い品質基準
厳しい要求に応える高品質なコーティング
柔軟な生産体制と迅速対応
カスタマイズ対応とスピーディーな納期
環境・法規制への対応
環境負荷の低減と各種規制基準への適合
