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FAX：049-223-1009
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お知らせ
このたび、半導体製造装置向けフッ素樹脂コーティングに関する技術ブログ（第4弾）を公開しました。
今回のテーマは、「 半導体製造装置・精密部品向けコーティングソリューション 」です。
半導体製造装置では、部品表面の状態が装置の安定稼働や清浄度、メンテナンス性に影響する場合があります。
特に、薬液に接触する部位や、搬送・洗浄を繰り返す部位では、耐薬品性、難付着性、撥液性、耐摩擦性などを適切に設計することが重要です。
フロロコートでは、半導体製造装置部品や精密部品を対象に、使用環境や要求性能に応じたフッ素樹脂コーティングを提案しておりますが、その際にお客様と注意深く確認すべき事項についてまとめました。
技術ブログの一覧は、下記ページよりご覧いただけます。
