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お知らせ
「研究所長のブログ」の第12稿を公開いたしました。
研究所長のブログの第12回目のテーマは、「半導体製造装置とフッ素樹脂コーティング~コンタミを抑える表面技術~」です。
半導体製造では、ナノメートル単位の微細な回路が作られます。そのため、目に見えない粒子や金属成分の混入が歩留まりに影響します。
半導体製造装置などでフッ素樹脂コーティングの適用を検討される場合にはどのようなことに注意すべきか?当社研究所長が解説します。
ぜひご覧ください。
https://www.fluorocoat.co.jp/semiconductor-equipment-fluoropolymer-coating/