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半導体製造では、ウエハーは数百にも及ぶ工程間を搬送されます。
その搬送工程において、わずかな問題であっても、
に影響を与える可能性があります。
そのため、ウエハー搬送用アームには単純な機械強度や位置決め精度だけではなく、「表面性能」も重要になります。
フロロコートでは、半導体製造環境向けに、ウエハー搬送部品への機能性フッ素樹脂コーティングを行っています。
下記は、精密搬送用途向けにコーティングされたウエハー搬送用アームの一例です。
精密搬送用途向けにコーティングされたウエハー搬送用アームの一例（フロロコート施工）
ウエハー搬送用アームは、以下のような環境で使用されます。
半導体製造では、微細な汚染でも歩留まりへ影響する可能性があります。
そのため、ウエハーを搬送するアーム自体の表面状態も、プロセス安定性に関わる重要な要素となります。
ウエハー搬送用アームへのコーティングによる主な効果
平滑で安定したコーティング表面は、
を低減する効果が期待できます。
半導体環境では、搬送時の汚染低減が、工程安定性や歩留まり維持に直結します。
半導体製造では、定期的な洗浄と厳格な清浄管理が求められます。
機能性コーティングにより、
が期待でき、長期間にわたって安定した清浄状態の維持をサポートします。
ウエハー搬送では、滑らかな動作と安定した位置決め精度が重要です。
に寄与します。
搬送部品は、
にさらされる場合があります。
フッ素樹脂コーティングは、部品表面を保護し、長期的な性能維持をサポートします。各フッ素樹脂の耐薬品性・耐熱性などの特性比較は、コーティング膜の特性比較表もご参照ください。
半導体製造では、
が求められています。
デバイスが微細化・高性能化するほど、許容される汚染レベルは小さくなります。
つまり、表面技術は単なる付加価値ではなく、プロセス全体の安定性を支える重要要素になっています。
フロロコートでは、日本国内で精密工業用途向けの機能性フッ素樹脂コーティングを提供しています。
当社のコーティング技術は、
といった課題に対応するために活用されています。
実際の製造現場に合わせた、実務的なコーティングソリューションをご提案しています。コーティングをご検討の際は、コーティングを検討する前にもあわせてご確認ください。
フロロコートでは、半導体関連用途向けに、実際の製造環境を意識したフッ素樹脂コーティング技術をご提供しています。用途や部品に応じたご相談もお気軽にお問い合わせください。
